聚焦离子束加工技术

  聚焦离子束技术是一种集形貌观测、定位制样、成分分析、薄膜沉积和刻蚀各个过程于一身的新型纳米加工与分析技术。MNMT 利用聚焦离子束技术,能够进行聚焦离子束刻蚀加工,同时可实现在线电镜高分辨率检测;通过气体注入系统进行铂沉积,结合样品微操作装置,可进行微/纳结构与器件的制备和结构优化研究。主要研究方向包括高精度复杂微/纳结构和器件、微刀具、碳纳米管器件及TEM样品制备等。目前,MNMT 已经成功开发了西门子星、小于100nm 线宽的纳米掩模、生物光学芯片及微纳衍射光学元件等高精度难加工关键器件。


应用范围

 高精度复杂的微纳米结构和器件的加工与制造

 微电子集成电路的缺陷检测分析和修复

 TEM 样品的制备和提取

 微纳米生物芯片和光学器件加工

 微刀具制造

 微机电系统(MEMS)加工